Pembangkitan Plasma Menggunakan Metode High-Voltage Direct Current Untuk Aplikasi Direct Current Magnetron Sputtering. PPJ [Internet]. 2021 Dec. 29 [cited 2025 Sep. 20];2(2):49-5. Available from: https://jurnal.fmipa.unmul.ac.id/index.php/ppj/article/view/778