“Pembangkitan Plasma Menggunakan Metode High-Voltage Direct Current Untuk Aplikasi Direct Current Magnetron Sputtering”. Progressive Physics Journal 2, no. 2 (December 29, 2021): 49–59. Accessed September 20, 2025. https://jurnal.fmipa.unmul.ac.id/index.php/ppj/article/view/778.