Yahya, Syarifah, Fadli Robiandi, & Ikal Maknun.
" Pembangkitan Plasma Menggunakan Metode High-Voltage Direct Current Untuk Aplikasi Direct Current Magnetron Sputtering." <em>Progressive Physics Journal</em> [Online], 2.2 (2021): 49-59. Web.  3 Jul. 2024